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        設備介紹
        GNX300B
        l日本OKAMOTO生產
        l減薄尺寸:8”~12”
        l極限減薄厚度:100um
        l轉速:0~3600rpm
        l最小移動量:1um
        l單片誤差:10um
        l片間誤差:±5um
        VG502-MKII 8B
        l日本OKAMOTO生產
        l減薄尺寸:5”~8”
        l極限減薄厚度:100um
        l轉速:0~3600rpm
        l最小移動量:1um
        l單片誤差:10um
        l片間誤差:±5um
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